CXT2663系列四探針方塊電阻測試儀是運用四探針測量原理的多用途寬量程綜合測量設(shè)備, 同時也是電阻率測試儀、電導(dǎo)率測試儀.該儀器是按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計的，可用于測試半導(dǎo)體及其他各種材料電阻率及方塊電阻的專用儀器。儀器運用雙電測原理，進行多次測量，自動消減樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機械游移等因素對測量結(jié)果的影響，它與單電測相比，大大提高測量精度和一致性。
 
 儀器選配 U盤數(shù)據(jù)記錄接口，可方便的進行測試數(shù)據(jù)的記錄；標(biāo)配USB接口和RS232接口可與電腦相連接；電腦配套操作軟件可以方便直觀的直接對儀器進行全功能操作、并記錄數(shù)據(jù),方便對材料進行電氣分析。儀器測量精度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、操作簡單、測試結(jié)果顯示直觀，廣泛運用于半導(dǎo)體材料廠、科研單位、高等院校等對各種半導(dǎo)體、類半導(dǎo)體材料、導(dǎo)體材料及各種新材料的導(dǎo)電性能的測試。
 
 適用范圍：
 適用于片狀或塊狀半導(dǎo)體材料的徑向和軸向電阻率及擴散層的薄層、太陽能等材料的測試.配置不同的測試探頭，可以測量柔性材料導(dǎo)電薄膜、金屬涂層或陶瓷或玻璃等基底上導(dǎo)電膜（ITO膜）或納米涂層材料的電阻率/方阻.也可使用電阻測試夾具直接測量電阻器電阻.
 
 產(chǎn)品描述:
 電阻測試范圍:100uΩ-100KΩ;方阻測試范圍: 100uΩ/□-100KΩ/□; 電阻率測試范圍取決于電阻測試范圍及被測件尺寸.
 
 性能特點
 ?*高方阻精度：3 %；方阻*小分辨：100uΩ
 ?*高電阻精度：0.05 %；電阻*小分辨：100uΩ
 ?溫度補償功能（TC）；溫度基本精度: 0.1 ℃
 ?被測件厚度可預(yù)設(shè),電阻率測試無需查表
 ?零底數(shù)設(shè)計，微弱電阻測試無需清零
 ?多種探頭可選,測量各種特性材料的方阻電阻率
 ?3檔比較功能: 合格/超上限/超下限
 ?電阻/方阻、電阻率、電導(dǎo)率同步測試
 ?HANDLER/USB/RS232/RS485接口遠(yuǎn)程控制
 ?U盤記錄測試數(shù)據(jù)，并可遠(yuǎn)程升級儀器軟件
 ?符合GBT 1551-2009及GBT 1552-1995
 ?適用于測量半導(dǎo)體、導(dǎo)電薄膜、金屬/納米涂層、太陽能材料、陶瓷等，也可直接測量電阻器